在线式臭氧检测仪的检测原理有半导体原理、电化学检测原理、紫外光法原理等，这里主要介绍的紫外光法。我们知道地球大气层上有一层臭氧层，科学家们已经发现臭氧层能吸收紫外线，研究表明臭氧仅对波长253.7nm的紫外线具有大吸收系数，在此波长下紫外线通过臭氧会产生衰减，符合兰波特-比尔定律。该方法已被美国等国家作为臭氧标准分析方法。
在线式臭氧检测仪就是采用紫外线吸收法的原理，用稳定的紫外灯光源产生紫外线，用光波过滤器过滤掉其它波长紫外光，只允许波长253.7nm通过。经过样品光电传感器，再经过臭氧吸收池后，到达采样光电传感器。通过样品光电传感器和采样光电传感器电信号比较，再经过数学模型的计算，就能得出臭氧浓度大小。
在线式臭氧检测仪的电路由电源部分、紫外灯控制、紫外光线样品检测、紫外光线采样检测，对数放大器、模拟输出及显示六大部分组成。
电路核心部分就是用对数放大器来实现臭氧浓度数学模型。放大器是14引脚可以对两个电流或电压之比进行对数运算的集成电路，该放大器输出电流动态范围宽，可以在1nA-1mA之间变化。输出误差范围不超过0.1%。输出公式：Vout=VT×ln I0/I(注：VT-常数，Vout-输出电压)。
电源部分主要是产生紫外灯需要的高压电源，同时产生电路板上需要的+15V直流电。紫外灯灯控部分主要是控制紫外灯灯电流在恒定允许范围之内，过高、过低可以自动调节，如果调不了说明紫外灯寿命到了，面板上有一个红灯变亮，提示你应该更换新的紫外灯了。标准紫外光检测和采样紫外光检测部分也是较关键部分，光电传感器把紫外线的光信号转换为电压信号，然后经两次运算放大器进行信号整理放大，送给放大器进行计算处理后，显示输出。模拟输出0-20mA与臭氧浓度大小是成线性关系的。
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