研究表明，臭氧是广谱、高效、快速杀菌剂，
臭氧发生器可迅速杀灭使人和动物致病的各种病菌，病毒及微生物。臭氧是一种氧化性非常强的物质，利用它的氧化性，可以在较短时间内破坏细菌、病毒和其它微生物的生物结构，臭氧发生器使之失去生存能力。利用氧化性来杀死微生物以达到灭菌效果的化合物还有很多，比如常见的氯气、漂白粉、高锰酸钾等。但这些杀菌剂不但比臭氧杀菌速度慢，而且一般的杀菌剂对人体有害。
臭氧发生器的气源选用主要以臭氧发生量来确定，分为气态下消毒和液态下消毒两大类。臭氧发生量和使用量一般按照发生量的额定发生量乘以时间来确定，但在不同的用途和不同的场所应计出衰减量而后确定。臭氧发生器在使用中气源的配置直接影响臭氧的发生浓度、产量和纯度，气源一般分为普通气源、干燥空气源、富氧气源和工业氧气气源四种，以上气源的配置，在发生装置相同的情况，浓度和产量依次递增。按照应用常识一般不应配置普通气源，因为这会影响发生装置的连接使用寿命并导致发生量不稳定。因此，常用的气源按用途大体可分以下几种：
1.干燥气源：空间消毒、自来水处理、游泳池水、养殖水、生产循环水、中水回用等；
2.富氧气源：臭氧浓度需求较高的使用场所，如纯净水、矿泉水、污水处理、医药食品车间等；
3.工业氧气源：纯度要求较高、浓度需求较重要、小气量应用场所等。
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