臭氧发生器是用于制取臭氧的设备装置，臭氧易于分解无法储存需现场制取现场使用（但是在特殊的情况下是可以进行短暂时间的储存），凡是能用到臭氧的场所均需使用臭氧发生器。臭氧发生器可在自来水、污水、工业氧化、空间灭菌等领域广泛应用。
选择用于电晕放电臭氧发生器的原料气体会对设备的使用寿命产生很大影响。如果在没有干燥器的情况下使用空气作为原料气，则会在臭氧发生器中形成硝酸。硝酸是一种非常强的酸，可以快速腐蚀设备。与臭氧一起使用的设备的设计并不能确保该设备也能抵抗硝酸的腐蚀。如果使用未干燥的空气作为原料气，连接到电晕放电臭氧发生器出口的任何部件或气体处理设备都可能损坏。此外，硝酸会与空气原料气中的污染物发生反应，并在发生器下游的管道和设备中产生化学残留物。
避免在电晕放电发生器中产生硝酸和防止设备中残留污染的理想方法是使用干氧作为原料气以防止在设备中产生污染。
在原料气进入臭氧发生器之前，空气干燥器应该对空气进行干燥。环境空气中含有水分，会与臭氧发生反应。这会导致每千瓦时的臭氧产量降低。高湿度的另一个问题是会发生不希望的反应在电晕装置中。当存在更多的水蒸气时，发生火花放电时会形成大量的氮氧化物。氮氧化物会形成硝酸，从而导致腐蚀。
空气制备系统降低了原料气的露点。潮湿的原料气（空气）会导致发生器内部形成硝酸，从而减少臭氧的产生，如果不去除，会导致发生器内部部件腐蚀并失效。
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